【基本信息】

型号：Quanta450 厂家：美国（FEI）

【仪器技术参数】

1、分辨率：

（1）二次电子（SE）像：高真空模式：30KV时优于1.0nm；1KV时优于3.0nm；低真空模式：30KV时优于1.4nm；1KV时优于3.0nm；超低真空模式：30KV时优于1.4nm

（2）背散射电子（BSE）像：30KV时优于2.5nm

2、加速电压：0.2-30KV

3、放大倍数：6倍-100万倍

4、电子枪最大电流束≥200nA

5、样品台：5轴马达驱动

6、分离工作距离：10mm

7、重复精度：2um

【仪器功能与应用】

功能：主要用于直接观察导电、不导电样品的表面形貌。

应用：固体样品的微观形貌，广泛应用于纳米技术、材料、物理、生物、化学、热能、地球科学、环境、光电子等领域。